반도체 패키지
- 범프 높이
- Coplanarity
- 와이어 본딩
반도체 · PCB · 2차전지 검사를 위한 μm 단위 3D 프로파일 센서. 1일 맞춤 데모부터 개방형 SDK까지, 개발자가 직접 지원합니다.

AIQSense3D 시제품450nm Blue Line Laser · 3D 프린팅 하우징
외산 센서 3사의 국내 기술지원을 하며 직접 본 '도입 실패 사유'를 하나씩 해결했습니다.
라인 레이저 · 산업용 카메라 · 광학계 · 제어보드를 하나로 통합한 모듈형 3D 프로파일 센서. 이동하는 대상의 높이 · 단차 · 평탄도 · 부피를 μm 단위로 측정합니다.

렌즈와 레이저를 교체하는 3 in 1 구조로 μm급 반도체 검사부터 m급 구조물 측정까지 한 플랫폼에서 대응합니다.
| 고해상도H | 중해상도M | 대면적L | |
|---|---|---|---|
| 측정 폭 (FOV) | 10 mm | 200 mm | 1,000 mm |
| X 분해능 | 5 µm | 50 µm | 300 µm |
| Z 반복도 (1σ) | < 1 µm | < 8 µm | < 60 µm |
| 동작 거리 | 45 mm | 150 mm | 600 mm |
| 라인 속도 | 10,000 /s | 5,000 /s | 5,000 /s |
| 주요 적용 | 범프 · 패키지 Coplanarity | R2R 필름 · 도포 · 부품 | 구조물 · 부피 · 로봇 |
※ 목표 사양이며 시제품 평가 후 확정됩니다. 측정 폭 · 동작 거리는 고객 장비에 맞춰 조정할 수 있습니다.
금속 반사나 투명 재질에서 생기는 고스트 노이즈는 3D 검사의 가장 큰 적입니다. CNN 모델이 실제 레이저 라인과 정반사 · 다중반사 고스트를 분리해, 적용 불가 판정을 줄입니다.

Scheimpflug 조건을 최적화해 기울어진 이미지 면 전 영역에서 초점을 확보합니다. 금형 없이 3D 프린팅으로 브래킷 · 커버를 하루 만에 만들고, 양산 시에는 기계가공으로 전환합니다.


렌즈 왜곡 보정과 KTL 인증 표준시편 기반 높이 캘리브레이션으로 픽셀 좌표를 실제 물리 좌표로 변환합니다. 1~5mm 단차 블록, 0.95mm 두께 Micro SD 카드 등으로 서브픽셀 정밀도를 확인했습니다.
검사 대상을 직접 측정해 보고 결정하세요. 데모는 무상입니다.
검사 대상 · 측정 항목 · 요구 정밀도 공유
시료 또는 이미지로 측정 방식 검토
조건에 맞춘 데모 모듈로 실측
무상고객 장비 · 라인 환경에서 검증
SDK 연동과 개발자 직접 기술지원
센서만이 아니라 렌즈 · 조명부터 검증용 표준시편까지 직접 공급합니다.
H / M / L 3종 시제품 평가 · 초도 고객 데모
위상천이 Moire 측정 모듈 · SDK 라이선스
DLP 기반 초정밀 3D 측정 (SCIE 논문 기술)

측정 항목과 요구 정밀도를 남겨주시면 담당 엔지니어가 직접 연락드립니다.